| 检测器的基本单元和光电倍增管组件在扫描电子显微镜 |
| KR1020040112420 2004-12-24 发明申请 |
| 2006-6-28 |
| 目的 : 一检测器的一个组件的基本单元和一光电倍增管在一种扫描电子显微镜是提供以防止损伤玻璃传感器由形成一个组合的结构与一简单的按钮组合的方法。结构 : 一检测器基本单元(52)包括一按钮(62)，一个位置恢复装置，一种空腔，和一个第一耦合部分(52a)。所述按钮是投影从该检测器的外表面基本单元。所述位置恢复装置是用于该按钮返回的位置到原始位置。所述按钮被插入到所述空腔，第一耦合部分具有一个管的形状和形成在所述检测器的一个侧基本单元。一种光电倍增管(53)包括一个第二耦合部分(53a)具有一形状的管。第一的耦合部分的所述按钮被插入到凹槽(64)第二的耦合部分。kipo2006 |
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