用于记录偏差的探头支架在透镜的方法-包括扫描显微镜
 
RU2004132928  2004-11-12  发明授权

2006-6-27
 
  字段 : 探针扫描显微镜。物质 : 提出的方法用于测量和记录偏差的探头支架在扫描显微镜配备有光学透镜,用于观看标本检查包括整形的光束从光源下的区域,其探头的通道通过透镜到反射表面支架,生成光点的装置的分段的光电检测器感测表面上的透镜,和改变的记录在光点位置感测表面上的光检测器。后面设置光源是长焦距,可变焦距透镜和光束分束器。光束发散状,以使光束通过透镜将被带来在聚焦(形成苛性碱)反射表面上的探头支架。效果 : 增强探针扫描显微镜中的偏差记录系统的灵敏度。6Cl,4显示
 
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