| 扫描探针显微镜 |
| JP2004350885 2004-12-3 发明申请 |
| 2006-6-22 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够保证准确的测量的样品，通过去除一个由应用的振动引起的不良影响的加热线或其张力到样品架或该样品。溶液 : 所述的加热线23所述样品台1和一加热控制器16之间是不直接相连的外部但通过一连接器8连接在所述一种扫描仪的上部分和所述样品架上的一连接器所述样品架侧设置在所述的下部分1，绕过所述圆柱形的压电内。在此，所述的振动所述的加热线23或其张力是防止从被直接施加到所述样品台1，和所述样品的位置控制在所述样品台1可以被准确地执行。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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