| 紧凑型光学显微镜、包含光学显微镜之度量衡器及包含度量衡器之晶圆定位度量衡装置 |
| TW111138504 2022-10-11 发明申请 |
| 2023-10-16 |
| 本发明提供一种光学显微镜(1)其经组配以提供在一物面(5)中之一物体的一像面(3)中之一影像。该光学显微镜沿一光轴(6)从该物面到该像面依序包含：一第一透镜(7)、一第二透镜(11)及一第三透镜(14)。该第一透镜(7)具有在该物面一侧的一第一透镜表面(8)及在该像面一侧的一第二透镜表面(9)该第一透镜表面(8)具有一第一半反射涂层(10)。该第二透镜(11)具有在该物面一侧的一第三透镜表面(12)及在该像面一侧的一第四透镜表面(13)。该第三透镜(14)具有在该物面一侧的一第五透镜表面(15)及在该像面一侧的一第六透镜表面(16)该第六透镜表面(16)具有一第二半反射涂层(17)。该光学显微镜为紧凑型且提供由在全视野上的绕射限制表现()并获得低失真率和低视场曲率。; (1)(3)(5)(6).(7).(11)(14)(7)(8)(9).-(10)(11)(12)(13)(14)(15)(16).-(17)-() |
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