| 原子力显微镜的操作方法 |
| KR1020040117817 2004-12-31 发明授权 |
| 2006-6-22 |
| 目的 : 一种用于操作AFM(原子力显微镜方法)被提供以得到一个准确的三-维图像从一种通过使用跟踪数据和回扫样品表面的数据。结构 : 迹线的扫描数据被从一个样品表面获得由使用一个悬臂具有一尖端，在这个时间，所述悬臂的所述尖端触点所述样品表面上。回扫扫描数据被从所述相同的样品表面获得的。一表面的扫描数据的补偿过程是通过使用该迹线进行和回扫扫描数据。一种三-维图像是通过使用所述补偿从所述样品表面获得的表面扫描数据作为参考。kipo2006 |
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