| 扫描探针显微镜之感测器 |
| TW094139253 2005-11-9 发明申请 |
| 2006-6-16 |
| 本发明关於扫描探针显微镜之感测器(1)，其具有悬臂(3)，悬臂(3)的一端有握持元件(2)，而悬臂(3)的另一端有感测尖端(4)，本发明也关於制造此种感测器的方法。电子束感应沉积(EBD)的结构(5)乃直接锚固於感测尖端(4)的基板中。EBD结构(5)是以正面和非正面耦合方式锚固於感测尖端(4)的孔洞(6)中，而孔洞(6)是藉由移除感测尖端(4)的基板材料所产生。在藉由光蚀印结构法搭配後续蚀刻过程或者藉由粒子束而移除材料之後，本方法设想到以粒子束感应材料沉积於感测尖端的孔洞中产生EBD结构。 |
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