| 扫描电子显微镜，使用所述相同的图案测量方法，和用于校正装置之间的差扫描电子显微镜 |
| JP2005096703 2005-3-30 发明申请 |
| 2006-6-15 |
| 要解决的问题 : 以解决该问题，即它是必要的，以评估测量的尺寸差或以计算在调节一需要的参数，用于每个一种测量图案的形状，并且它是必要的，以调整所述使用所述计算测量的尺寸差参数。溶液 : 在所述用于测量所述的方法使用一种扫描电子显微镜所述图案的尺寸，一种其上的样品表面该图案被形成为具有一会聚的电子束照射和扫描。一种二次电子产生从所述样品通过所述与所述会聚的电子束照射被检测，从而获得所述图案的所述表面上形成图像的所述样品。该滤波器参数(功能)，用于调整所述设备之间的所述的图像轮廓的所述特征量存储在预先一存储装置中被读出。该图像从所获得的所述图案的图像轮廓是制备使用所读出的滤波器参数。所述图案的尺寸是测量从所述制备的图像轮廓。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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