| 观察的光学装置和显微镜 |
| JP2004342493 2004-11-26 发明申请 |
| 2006-6-15 |
| 要解决的问题 : 以防止所述光通量的自动聚焦系统从被影响，即使在所述使用一种观察光学系统在一起的情况下与所述的自动聚焦系统。溶液 : 关于所观察的光学装置，一λ\/4波长板50是一个偏振光束分束器24之间设置用于使所述发出的照明光通量从一个灯箱20用于一DUV照明\/成像装置51进入一个无限距离校正光学系统7和一个用于分离二向色镜25所述光通量返回从一个样品表面9从该无限的距离校正光学系统7。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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