| 紫外线显微镜 |
| JP2004344152 2004-11-29 发明申请 |
| 2006-6-15 |
| 要解决的问题 : 以提供一个紫外波长中的显微镜，其是优异的选择性，其中的光学对准是容易，此外，和其小型化，还是廉价的。溶液 : DUV光射线被取出的光的光线进行反射从光源14a包括波长在紫外区的预定用于每个光谱特性的两倍，四倍的总使用两个干扰滤波器中，一个第一干涉滤光器131和第二的干涉滤光器132一个波长选择装置13，该样品被照射与所述DUV光射线和一个放大的光学图像通过所述的光从所述样品被观察到。版权 : (C)2006，膜℃。 |
微信公众号