| 反射成像电子显微镜 |
| JP2004345113 2004-11-30 发明申请 |
| 2006-6-15 |
| 要解决的问题 : 以增加该反射镜的对比度电子显微镜。溶液 : 一分离器4用于分离一个反射的电子束照射电子束101和102的所述反射镜电子显微镜是位于一物镜透镜5和一个中间透镜8之间,和一限制隔膜14被位于一个位置43中,其中所述中间透镜8投射电子束衍射图像的所述反射的电子光束102形成在所述物镜透镜5的聚焦位置41。所述所反射的电子束限制使用所述限制膜片14反射镜的对比度提高了电子显微镜图像。版权 : (C)2006,膜℃。 |