| 圆筒压电元件和扫描探针显微镜 |
| JP2004339962 2004-11-25 发明申请 |
| 2006-6-15 |
| 要解决的问题 : 以提供一圆筒压电元件和一个扫描探针显微镜，与其中的一个误差可以被校正的平直度与一简单结构的膨胀和收缩操作在一个轴向方向上，高的平直度被实现，测量精度是改进和一与一高纵横比可以安全地测量物体被测量。溶液 : 所述圆筒压电元件11被提供有一电极装置和一电压施加装置13用于执行该膨胀和收缩操作在所述轴向方向，和被提供有多个分的电极16a，16b; 17a和17b，它被划分成一个用于校正该误差的圆周方向在一个扩展的平直度和收缩方向的外周面上。该膨胀和收缩操作中所述直线度的误差在所述轴向方向具有这种结构是校正通过安装所述专用分电极和平衡电压施加到所述分电极。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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