| 驱动头和具有该驱动头的个人原子力显微镜 |
| US11298041 2005-12-8 发明申请 |
| 2006-6-15 |
| 本发明提供一种驱动头和具有该驱动头的个人原子力显微镜， 所述驱动头包括 : 悬臂，所述悬臂设置有弯曲检测器并用于移动探针；驱动头，所述驱动头用于上下移动所述悬臂；以及扫描器，所述扫描器用于在X轴方向和Y轴方向上移动样品。 悬臂上设置有弯曲检测器，驱动头和扫描器可以双向移动，由于柔性铰链的弹性，驱动头和扫描器的位移较大。 个人原子力显微镜由于其高线性而几乎没有滞后或蠕变。 因此，不需要单独的用于校准的传感器系统，并且可以通过单个初始校准获得期望的图像。 |
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