| 测量装置和方法，其操作根据所述共焦显微镜的基本的原理 |
| WOEP05056370 2005-12-1 发明申请 |
| 2006-6-15 |
| 本发明涉及一种用于所述共焦测量装置测量的一个对象。所述装置包括一光源(1)，成像光学系统(4)和一个图像检测器(10)。该装置是配备有元件(11)用于修改所述光学路径长度之间的所述光束路径中的所述隔膜组件(3)和所述物体(6)，所述的光学距离所述图像平面中被修改的一个预定的方式和元件用于至少一个特性影响(强度，频率，谱)的所述发出的光(5)，其是从所述光源(1)到所述物体(6)或所反射的光(7)，它是由所述物体(6)和其撞击所述传感器(10)，一个曝光周期期间(TB1)的一曝光。根据本发明，一种预定关系，(在所形成的一轮廓)，所述的特性之间的所述光(5，7)和所述的光学距离所述图像平面从所述成像光学系统(4)是所述曝光期间产生周期(TB1)。该装置还配备有元件，其供应一用于所述曝光周期(TB1)，其测量值被依赖于所述特性所观看的所述的光的光束路径(7)。所述对象的一个高度坐标(zs)(6)可以从所述的测量值被重构的所述曝光周期(TB1)和一个参考值。 |
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