| 驱动头和个人具有相同的原子力显微镜 |
| KR1020050063721 2005-7-14 发明申请 |
| 2006-6-14 |
| 目的 : 一驱动头和一个个人原子力显微镜是提供以使向上和向下位移的所述驱动头，和使所述驱动头具有大的位移宽度和简单的结构。结构 : 一驱动头包括一个柔性铰链(11)，一支承(15)，一个磁轭(12)，一个磁铁(13)，和一线圈(14)。所述柔性铰链具有一个弹性部分。所述支撑件支撑该柔性铰链，并将一个一定的力到所述弹性部分。所述磁轭被连接到所述柔性铰链对应到该支撑。所述磁体是突出在所述轭铁。所述线圈被固定在所述支撑和重叠与所述磁体。所述支撑和所述柔性铰链被铝的合金制成。所述柔性铰链具有一凹槽的所述弹性部分(一)，以被平滑地弯曲，kipo2006 |
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