| 探针再生方法，和扫描探针显微镜 |
| JP2004334431 2004-11-18 发明申请 |
| 2006-6-8 |
| 要解决的问题 : 提供一种探针的再生方法和一种扫描探针显微镜能够保持所有的所述时间一探针的尖端与一良好的清晰度程度，能够延长使用寿命的所述的探针; 可用于测量和检查保持良好的精度，能够降低成本的，和能够提高数据的再现性。溶液 : 该探针的再生方法是提供一种扫描探针显微镜通过执行所述的方法与探头部分具有所述探针相对样品，一种用于导电的方法和探针移动机构排空移动到\/从所述探头，和用于所述探头扫描运动，一个测量部分，用于测量所述探针和样品之间产生一物理量当所述探针扫描所述样品的表面，和一安装与所述样品的样品台，和用于扫描该样品的表面与所述探针以测量该样品的表面，同时改变位置的所述探针与由所述探针相对于所述样品移动机构，同时保持所述物理量恒定，通过所述测量部分。该方法具有一步骤，用于制备所述的再生工作样品，和一步骤，用于推动所述探针在该再生工作样品安装条件下以再生该所述探针的尖端。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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