| 传输电子显微镜样品的制造方法。 |
| KR1020030100515 2003-12-30 发明授权 |
| 2006-6-2 |
| 本发明涉及传输电子显微镜用于测试该晶片测试样品的制造技术涉及(传输电子显微镜 : TEM)，是包含一种特定的现场到被观察到的样品是一预定的厚度和数量1提供具有一个光样品号2，数1预设的采样，其中所述的空气厚度1\/7的厚度，气泡(背侧)样品号2的背面(研磨)之后和堆叠和样品号2样品号1的背面，数1和数2，该样品的两侧上的一伪晶片定位所述划分的两个，和要观察到的是包括一个特定部位编号1和数2发射的光被传送通过一个样品上的是，粘合剂，一种伪晶片样品和数量1和数号2(键合)后接合材料接合1和数量2样本和，一个伪晶片，以暴露出方向侧其横截面(切片)每个然后切片冲压到用于一样品盘式2.3毫米直径的形成和圆形所述，抛光，以完成所制造的样品通过所述溅射过程被其特征在于，它具有一。根据本发明，试样以降低所述的制造工艺用于制造所述相同的数量，其中，作为一个结果的测试件时所述客户机计算机，显著地降低。 |
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