| 扫描探针显微镜 |
| JP2004326293 2004-11-10 发明申请 |
| 2006-6-1 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够获得精确的测量的数据通过消除噪声分量特有地出现仅在特定扫描方向所测量的装置。溶液 : 所述扫描探针显微镜包括 : 所述的悬臂14提供与证明13; 所述移动机构11和17，用于相对移动所述探针与样品10所述的位置; 所述检测装置，用于检测所述特定的物理量; 所述测量装置用于测量该样品的表面; 和所述的测量控制装置60用于控制所述操作所述移动机构和所述测量装置。该测量控制装置包括 : 所述扫描方向设定装置61用于设定第一的扫描方向和所述第二处的扫描方向交叉的一个任意角度; 所述测量执行装置62用于获得所述测量数据通过测量该样品的表面，同时扫描和移动所述探头第一的扫描方向和第二中的扫描方向; 第一减法装置63用于操作所述数据的第一线数据和第二之间的差线数据; 和第二减法装置64用于有关上述数据的差值中减去从所述测量数据第一扫描方向。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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