| 扫描电子显微镜和半导体检查系统 |
| JP2004326924 2004-11-10 发明申请 |
| 2006-6-1 |
| 要解决的问题 : 以增强所述通过扫描电子显微镜拍摄的图像的图像质量。溶液 : 该扫描电子显微镜中配备与一个电子源101用于照射一主电子束108在样品晶片106，一个加速电极102，一个聚焦透镜103，一偏转器104，一物镜透镜105或所述等，一个检测器110，以获得一数字图像通过从所述样品发射的电子信号109产生的采样晶片106，一种数字化装置111或该等，一个图像存储器116用于存储，显示，和处理所获取数字图像，一个输入和输出部118，一种图像形成部115，和一种图像处理部114或该等，一种用于采样所排出的电子信号取样装置109在间隔，其被更精细的比所述像素所述存储的尺寸，显示或处理数字图像，和一种图像形成处理装置，用于形成所述数字图像; 通过基于所述像素尺寸扩大在所述采样放电的电子信号109被提供。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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