| 探针显微镜用扫描器 |
| US11000589 2004-11-30 发明申请 |
| 2006-6-1 |
| 一种用于探针显微镜的扫描器，其避免低谐振频率并更好地考虑压电非线性。 一种线性堆叠扫描器的X，Y和Z轴彼此部分地解耦，同时保持所有机械接头在致动方向上是刚性的。 扫描探针显微镜包括探针，壳体，至少两个致动器，每个致动器连接到壳体，以及支撑件，该支撑件连接到壳体并且在与致动器连接到壳体的点间隔开的位置处连接到至少第一致动器。 支撑件约束第一致动器沿第一轴线的运动，同时允许沿第二轴线平移。 所述致动器优选地是正交布置的线性扁平压电叠层，优选地为推拉结构。 在本发明的不同实施例中，支撑件可以采取不同的形式。 在一个特定实施例中，扫描器是2D扫描器，其具有具有X和Y轴的支撑框架，以及用于支撑诸如用于探针的样品的待移动物体的构件，扫描器包括沿X和Y轴布置的弯曲和弯曲耦合的交叉适形压电体。 压电体的膨胀通过至少两个应变计测量，所述应变计被设置成测量至少两个相对的致动器的差动运动。 应变计优选地设置成补偿环境温度变化，并且优选地在每个致动器上设置两个或多个相同类型的应变计以放大应变信号。 |
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