| 扫描探针显微镜和使用该显微镜的样品观察方法以及半导体器件的制造方法 |
| US10542624 2005-7-19 发明申请 |
| 2006-6-1 |
| 本发明提供一种扫描探针显微镜，该扫描探针显微镜能够在不损伤试样的情况下高通量地测量试样的精确的三维形状信息。 本发明提供一种不损伤试样地获得试样的精确的三维形状的方法，该方法通过使探针仅在测量点接触，在探针向下一个测量点移动时将探针拉起并缩回，将探针向下一个测量点移动并使其接近，分析探针的偏转信号及其扭转信号区域，从而能够在最小的必要缩回距离下进行测量。 对横向移动时的残留振荡进行最小化的控制，从而能够提高测量频率并能够实现高速测量。 |
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