| 扫描探针显微镜及扫描方法 |
| US11235458 2005-9-26 发明申请 |
| 2006-6-1 |
| 为了提供一种扫描探针显微镜和扫描方法，其能够精确地接近或接触探针和样品表面，而与样品表面的不规则形状无关， 它包括用于相对执行的探针2， 对于样品表面S， 在平行于样品表面S的两个方向上扫描和在样品表面S的垂直方向上的移动， 检测装置(4)，用于检测随着探针(2)和样品表面(S)之间的距离而变化的测量量； 在探针2接近或接触样品表面S的时间点上收集观察数据的观察装置6， 控制装置(5)，用于控制SAN在两个方向上的移动和在垂直方向上的移动；以及接近/分离驱动部分(24)，用于使探针(2)以预定距离相对接近和分离样品表面(S)，其中，检测装置(4)通过接近/分离驱动部分(24)检测接近时间和分离时间的测量量的变化率，并且当观察量的变化率超过预先设置的阈值时，观察装置(6)收集观察数据。 |
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