| 用于原子力显微镜的同轴照明显微镜光学系统 |
| CN200410084619.1 2004-11-26 发明申请 |
| 2006-5-31 |
| 一种用于原子力显微镜的同轴照明显微镜光学系统，包括同光轴置放的八个成像透镜，以两直角棱镜的两斜平面胶合而成的立方胶合棱镜以及采用科勒照明结构的均匀照明光源。光源聚焦在视场光阑上，视场光阑成像在被探测物上，构成均匀照明。两两透镜胶合成三组双胶合透镜，立方胶合棱镜置放在成像透镜中间，同时又与前后成像透镜以及照明透镜胶合在一起，减少了空气间隙。不仅有利于像差矫正，使像差变小。同时有利于装调，结构紧凑，系统体积小。靠近原子力显微镜探测针尖的第一双胶合透镜可以沿着光轴前后移动，使系统在精调焦时，不影响成像质量。本发明光学系统具有长(大于50mm)工作距离，大(大于0.25)数值孔径，放大倍率5倍以上，成像质量接近衍射极限，畸变小于0.2％的特点。 |
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