| 纳米镊子和扫描探针显微镜具有该同一 |
| WOJP05021456 2005-11-22 发明申请 |
| 2006-5-26 |
| 纳米镊(1)，包括一支撑体(25)，一个观察探头(10)投射从该支撑体(25)用于观察所述表面的一标本，一个可移动臂(20)与所观察的探针(10)设置平行投射从该支撑体(25)和打开和关闭以保持和释放所述标本上和从该观察探头(10)，和一驱动机构驱动地打开和关闭所述活动臂(20)从和到所述观察探头(10)。每个所述支撑体的(25)，该观察探头(10)，和所述活动臂(20)是通过制造工作一半导体晶片(30)通过光刻工艺。从而，由于所述的尺寸精度所述纳米镊子可以被增加，观察到该样品可以被准确和牢固地保持。 |
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