| 超高真空扫描探针显微镜 |
| JP2004322873 2004-11-5 发明申请 |
| 2006-5-25 |
| 要解决的问题 : 提供一种超高真空扫描探针显微镜能够进行原位观察的具有一个一种表面结构的原子级的分辨率,同时施加一应力到一超高真空中的样品。溶液 : 该超高真空扫描探针显微镜是,其特征在于,配备有一样品架3用于支撑一个一种片状样品2的一端或两端在一真空容器中的所述超高真空状态; 应力应用机构6,7,8,其中所述垂直方向中的变形被控制在所述纳米级,用于施加一应力到所述的片状样品2; 和一探针,用于执行与所述原子-上-该点测量所述所述的片状样品的表面状态的水平分辨率其中所述应力被施加。版权 : (C)2006,膜℃。 |