| 电子显微镜和像差测量方法 |
| JP2022053654 2022-3-29 发明申请 |
| 2023-10-12 |
| 所要解决的问题是提供一种电子显微镜，其不使用分割型检测器，就能够取得在相互不同的入射角范围的条件下得到的多个扫描透射型电子显微镜图像。 解决方案：电子显微镜100包括：照射光学系统10，其会聚电子束EB并用会聚的电子束EB扫描样本S； 偏转器20，其偏转透过样本S的电子束EB； 检测透过样本S的电子束EB的检测器40； 以及控制部50，其控制照射光学系统10和偏转器20。 控制部50使照射光学系统10用电子束EB扫描样本S，并且使偏转器20针对电子束EB的每个照射位置偏转透过样本S的电子束EB，使得针对电子束EB的每个照射位置，在透过样本S的电子束EB中，对样本S的入射角范围互不相同的电子束EB入射到检测器40。 选图：图6版权：(C)2024, JPO&INPIT |
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