| 用于扫描探针显微镜的扫描机构，和扫描探针显微镜 |
| JP2004318352 2004-11-1 发明申请 |
| 2006-5-18 |
| 要解决的问题 : 以提供一扫描机构具有一位移特性的劣化少的致动器，用于该Z-方向中运动通过连接引起的布线。溶液 : 该扫描机构具有一个Z-阶段140，用于移动一个运动物体沿该Z-轴。该Z-台140具有一绝缘基板142，一种压电元件141用于在所述Z-方向的运动构成所述致动器，用于移动在所述Z-方向，所述绝缘基板142上提供导电图案143，布线146电连接。以所述导电图案143，和一个电连接部144用于电连接所述压电元件141用于移动在该Z-方向以所述导电图案143。所述压电元件141用于移动在所述Z-方向是固定的机械到所述绝缘基板142，和被沿该Z-轴的可扩展和收缩，并具有一自由端，其中所述运动对象被安装。所述的电连接部144被设置在所述压电元件141用于移动所述的固定端在该Z-方向。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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