| 激光扫描型显微镜 |
| JP2004312820 2004-10-27 发明申请 |
| 2006-5-18 |
| 要解决的问题 : 以提供一激光扫描型显微镜能够可靠地检测角度偏差的和平行移所述的光学轴的一个光束。溶液 : 所述角度偏差引起的所述的光学轴和平行的移位通过改变所述的光的光束直径一物镜透镜光瞳的位置处的光束22被从一个移动量和方向检测的一个一束光点17的照射位置在光接收平面7a(8a)，7b(8b)，7c(8c)，7d(8d)的两个三维传感器7(8)，和被通过调整校正的一个旋转角度调整部4b和一平行运动的基础上调整部4c这种检测的结果。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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