| 扫描电子显微镜和样品观测方法。 |
| JP2004314394 2004-10-28 发明申请 |
| 2006-5-18 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜和一个样品的观察方法可获得的稳定扫描图像通过充分减少电荷的影响-样品的表面上。溶液 : 该扫描电子显微镜1是设置有电子枪3a，3b，和电子发射的光束B1从所述电子枪3a具有一较高的比所述的电子的能量束B2从该电子枪3a发射的B。所述的电子束B1，B2从该电子枪3a发射的，3b通过一束弯曲机构8被弯曲，使得它们的照射方向朝向与每个其它一基板2重合，进一步，由以通通过一个对准线圈9和一物镜透镜10，通过扫描一扫描线圈11，该基板和所述的相同位置上照射2。在这个时间，二次发射的电子从所述基板2是由一检测器15检测到，一个检测信号其中的15被发送到图像处理部16，和一个扫描图像的所述基板2被通过所述图像处理部16产生的。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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