| 使用扫描探针显微镜确定表面轮廓的装置和方法 |
| US11251795 2005-10-18 发明申请 |
| 2006-5-11 |
| 一种扫描探针显微镜，用于通过使探针接近或接触样品表面并扫描样品表面来测量样品的表面轮廓，包括 : 样品台，其可在至少一个轴方向上移动； 探针，其与安装在样品台上的样品表面紧密接近或接触，并扫描样品表面； 探针驱动单元，用于三维移动探针； 探头偏转检测器，用于检测探头的偏转； 以及观察光学系统，其具有物镜并观察基本上设置在物镜的光轴上的探针，以及样品。 探针驱动单元设置有相对于物镜的光轴基本上对称布置的三组成对的驱动源。 |
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