| 使用表面驱动致动器来定位扫描尖端的扫描探针显微镜 |
| US11291671 2005-11-30 发明申请 |
| 2006-5-11 |
| 一种扫描探针显微镜，包括扫描探针尖端和可操作地耦合到扫描探针尖端的静电表面致动器。 所述静电表面致动器包括可动构件和固定构件，所述可动构件具有第一表面和固定构件，所述第一表面具有设置在所述第一表面上的第一多个电极，所述固定构件具有第二表面，所述第二表面具有设置在所述第二表面上的第二多个电极。 所述第一和第二表面以相对的关系设置，所述可移动构件和固定构件弹性连接，使得所述可移动构件能够相对于所述固定构件移动。 所述第一和第二多个电极被配置为响应于施加的电压而产生静电力。 所述静电力使所述可移动构件在大致平行于所述第一和第二表面的方向上横向移动。 扫描探针尖端通过可移动构件的位移可控制地定位。 |
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