| 原子力显微镜(AFM)横向力校准 |
| GB0521755 2005-10-25 发明申请 |
| 2006-5-10 |
| 一微加工出的校准装置10用于横向力小的力测量装置中的校准例如原子力显微镜(AFM)具有一个平台20具有一基本上平面表面包括一槽25用于容纳至少一部分的一个AFM悬臂尖端。一个或多个支撑腿40提供弹性的电阻，以该平台20，和一个电容式驱动装置驱动所述横向平台20具有相对于所述AFM悬臂尖端。还公开了一种扭转一个小的恒定力确定所述的方法测量装置使用所述校准装置，和一个弹簧常数的所述校准装置确定所述的方法本身。 |
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