| 近场光学显微镜探针及其制造方法 |
| JP2004567318 2003-12-18 发明申请 |
| 2006-4-27 |
| 本发明涉及一种用于光学近场显微镜探针，所述探针包括探针针尖，其形成在自支撑载体和一种制造方法相同。本发明的一个目的是提供一种用于光学近场显微镜探针和方法生产相同，由此所述探针具有探针末梢的针尖与一个非常小的孔直径，这样能够可再现地制造简单，有利地可控方法。该目的是解决对于由通用探针探头，其特征在于，所述探头尖端设计为整体结构，其应用于平面表面的载体。关于物体的问题的方法制造的探头，其用于光学近场根据本发明的显微镜通过一种方法与步骤 : 透明层施加到基材上，所述透明层的厚度对应的至少探针针尖的高度，所述透明层的屏蔽，按至少一个区域的探针尖端; 透明层进行蚀刻，形成的探针头。 |
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