| 所述的辅助扫描的对象与所述的方法扫描探针显微镜 |
| RU2004133656 2004-11-18 发明申请 |
| 2006-4-27 |
| 字段 : 测量设备工程，即，通过扫描探测浮雕的显微镜装置用于测量的方法，线性尺寸和物理特性对象的表面的扫描隧道显微镜的模式中，原子力显微镜，关闭-极性光学显微镜和其它。^物质 : 对象第一上安装的压电扫描器。被研究物体的表面上方，第二的压电扫描器是位于与探头。使用相互运动的两个压电扫描器，扫描被执行。两个压电扫描器被连接在反相的各一个的扫描坐标。两个压电扫描器是利用与等效的有源元件。压电扫描器的一个的位置是通过各一个扫描坐标的测量。运动被确定的值的基础上测量的结果。扫描是通过旋转所述探针和样品进行适当的固定中心周围。^效果 : 提高分辨率的扫描方法，方法使它可能以禁止至少一个的坐标在一个扫描器的。^3Cl，4显示 |
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