| 具有数十纳米横向分辨力的透射多光束共焦干涉显微镜 |
| CN200510123582.3 2005-11-21 发明申请 |
| 2006-4-26 |
| 本发明属于显微成像及微观精密测量技术领域， 涉及一种具有数十纳米横向分辨力的透射多光束共焦干涉显 微镜，包括光源(1)，依次放在光源发射端的准直扩束器(2)、偏 振分光镜(10)，放置在偏振分光镜(10)反射光路上的1/4波片 (11)、显微物镜(4)，以及在偏振分光镜(10)透射光路上的聚光 透镜(6)和位于聚光透镜(6)焦点位置的针孔(7)，贴近针孔后面 的光电探测器(8)，还包括放置在偏振分光镜(10)和聚光透镜(6) 之间的多光束发生器(12)。本发明可广泛用于微电子、材料、 工业精密检测、生物医学等领域中进行高分辨力显微成像检 测。 |
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