扫描光学显微镜
 
JP2004292639  2004-10-5  发明申请

2006-4-20
 
  要解决的问题 : 以提供一种扫描光学显微镜,其是容易的控制而不损失光量由于分束器或等,是能够容易地对应到的所述的波前的尺寸转换元件不大大改变传统的激光扫描显微镜所述的光学装置。溶液 : 该扫描光学显微镜是具有一个光学源11,一种波前转换元件的光学系统2包括该波前转换元件24,它赋予任意波前转换到从所述的光学源11发出的照明光,一光束扫描装置3用于扫描两个正交方向与所述的照明光的波前通过所述波前转换元件转换光学系统2,一种用于聚光的物镜4所述的照明光具有所述行进方向,其是通过改变所述光束扫描装置3以一个物体O和一用于检测信号发射的光检测器53从所述对象O,其中一个第一反射表面211用于引导从所述的光学源11的光通量到所述波前转换元件24和第二反射表面212用于引导所述波前转换后的光通量到所述光束扫描装置3被包括在所述波前转换元件的光学系统2。版权 : (C)2006,膜℃。
 
仿站