| 扫描光学显微镜 |
| JP2004292640 2004-10-5 发明申请 |
| 2006-4-20 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描光学显微镜,其设置一发光通量扫描装置在所述最佳使用位置与相对于物镜,用于观察和是能够通过一个影响引起的像差校正的所述的装置。溶液 : 该扫描光学显微镜是具有一种波前转换元件24,它赋予任意波前转换到照明从一光学源11发出的光,一发光通量扫描装置3用于扫描两个正交方向与所述照明光的波前转换后,光瞳投影透镜4和一个成像透镜5,其导向所述的照明光具有所述的前进方向,它是由所述光通量改变扫描装置以一物镜透镜6,所述物镜用于聚光透镜6所述的照明光以一个对象和一个用于检测信号发射的光检测器53从所述对象。所述扫描光学显微镜是进一步提供有一用于移动至少一个透镜驱动机构的所述光瞳投影透镜和所述成像透镜和,通过移动所述透镜通过所述驱动机构的装置,该位置所述光束扫描装置3之间的关系和所述光瞳6所述物镜的透镜被控制到所述最佳位置,从而以正确的所述的波前所述的照明通过所述物镜透镜6会聚的光通过装置该波前的转换元件24。版权 : (C)2006,膜℃。 |