| 扫描电子显微镜 |
| JP2023111232 2023-7-6 发明申请 |
| 2023-9-5 |
| 要解决的问题：探测携带关于样品的极端表面的信息的电子，并获得关于几个原子层的形状的信息。 解决方案：检测器40具有三个以上的检测面，该三个以上的检测面配置在以电子束通过的光轴为旋转轴的相互旋转对称的位置，检测从被电子束照射的样品22发射的反射电子。 信号处理装置48基于由三个或更多个检测表面中的至少两个检测表面检测到的反射电子的信号量来生成图像。 选图：图37版权：(C)2023, JPO&INPIT |
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