| 扫描电子显微镜用于分析 |
| JP2004291341 2004-10-4 发明申请 |
| 2006-4-20 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜用于分析具有一个分析函数准确地进行元素分析样品在一特定的区域和元件映射在一个正确的分析电子束的位置(共鸣)与一种简单的结构没有提供一种扫描电子显微镜上等效的电路侧和一个外部分析仪侧。溶液 : 图8示出了各自的信号的波形成在该停止的电子束的照射时间依赖于一扫描一个非-线性响应周期期间等待信号，其中，所述电子束被移动向所述分析的位置该样品。(j)示出了所述等待信号。该电子束分析的数据在一个正确的位置是通过适当地设定所述周期获得的用于非-线性当所述电子束产生的响应移动。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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