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扫描电子显微镜和其聚焦检测方法。

JP2004292748 2004-10-5 发明申请

2006-4-20

要解决的问题 : 以提供一种装置，用于检测一个聚焦的位置准确地扫描电子显微镜中。溶液 : 在所述扫描电子显微镜系统，该焦点位置是通过一聚焦控制系统作为一种变化的电子光束是由一个偏转扫描控制系统。由于该偏差的所述的所述电子束的焦点位置从所述原点在所述表面一种样品的对应于该焦点位置的偏差，该焦点位置可以很容易检测出。版权 : (C)2006，膜℃。