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电子分光镜和传输电子与上述显微镜配备

JP2006000016 2006-1-4 发明申请

2006-4-20

要解决的问题 : 以单独和同时测量能量在不同样品的光谱位置。溶液 : 所述的电子分光镜，以分散电子束通过一个样品之间的所述电子束能量的量所述传输电子的显微镜和一透镜组，以所述电子束的图像被提供。所述分散电子束的聚焦位置被一种所述的电子的能量色散方向中的不同的分光镜所述分散电子束和在一个方向垂直于所述能量色散方向。版权 : (C)2006，膜℃。