| 电子显微镜装置 |
| JP2004286332 2004-9-30 发明申请 |
| 2006-4-13 |
| 要解决的问题 : 以实现一个电子显微镜装置在其一个轨迹的不利效果由于滑移电子束通过的磁滞的是即使在该情况下不带来的一个电磁偏转快门被使用。溶液 : 该装置包括一个聚焦透镜用于聚焦该电子束照射从一电子枪，一种图像形成系统，用于基于测试件的一个放大图像形成在所述电子发射的光束通过该测试片通过所述照射，一用于偏转电子束的偏转装置153，一种光圈装置，用于发送所述电子束其有助于图像用于关闭所述电子束形成和不贡献给图像形成，一个快门信号供给装置170，其用于偏转由所述偏转装置提供所述快门信号到所述偏转装置使所述电子束可被关断通过该光阑的装置，和一个控制装置101，其确定该快门信号基于所述所述图像形成系统的放大率和所述电子束的直径在该测试片。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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