| 具有数十纳米横向分辨力的反射多光束共焦干涉显微镜 |
| CN200510123581.9 2005-11-21 发明申请 |
| 2006-4-12 |
| 本发明属于显微成像及微观精密测量技术领域， 涉及一种具有数十纳米横向分辨力的反射多光束共焦干涉显 微镜，包括光源(1)，依次放在光源发射端的准直扩束器(2)、第 一偏振分光镜(10)，放置在第一偏振分光镜(10)反射光路上的第 一1/4波片(11)、显微物镜(4)，以及在共焦接收光路中的聚光 透镜(6)和位于聚光透镜(6)焦点位置的针孔(7)，贴近针孔后面 的光电探测器(8)，其特征在于还包括依次放置在显微物镜(4) 光轴上并处在第一偏振分光镜(10)位置后的第二偏振分光镜 (10′)、第二1/4波片(11′)和多光束发生器(12)。本发明可广 泛应用于微电子、材料、工业精密检测、生物医学等领域中进 行高分辨力显微成像检测。 |
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