| 用于扫描探针显微镜探针更换方法 |
| KR1020067001387 2006-1-20 发明申请 |
| 2006-4-12 |
| 一个用于一个扫描探针显微镜探针替换的方法，其包括一悬臂(21)具有一个探针(20)，和一个测量部分，用于测量所述探针和样品之间的物理量和其是用于测量一个样品表面上。该扫描探针显微镜包括一个悬臂安装部分(22)，一悬臂盒(30)，XY-级(14)和一Z-级(15)用于移动所述悬臂盒，和一个光显微镜(18)。所述扫描探头显微镜包括一个第一步骤，用于实现所述悬臂安装部分和所述悬臂之间的定位盒，选择所述悬臂从所述悬臂盒，并将其安装在所述悬臂安装部，和一第二步骤，用于移动所述光显微镜装置的后续到所述悬臂的所述的安装和设置所安装的悬臂在一预定位置在所述观察场的视图。第二步骤是提供具有一步骤，用于实现位置调整通过移动所述光显微镜侧或所述悬臂侧。kipo&wipo2007 |
微信公众号