| 功能器件、探针和具有探针的扫描探针显微镜、以及功能器件和探针的制造方法 |
| JP2004278026 2004-9-24 发明申请 |
| 2006-4-6 |
| 本发明的课题在于，不使用掩模图案等，通过聚焦离子束法(FIB)形成比以往窄的狭缝，抑制射束照射部的品质变化。 解决方案：制造方法包括在基板101的主面上形成薄膜102的步骤和通过从基板101的背面照射FIB103而形成从基板101的背面贯穿到薄膜102的表面的狭缝104的步骤。 因此，可以抑制由FIB 103引起的闪光的影响。 版权：(C)2006, JPO&NCIPI |
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