| 原子力显微镜 |
| US10954739 2004-9-30 发明申请 |
| 2006-3-30 |
| 一种装置包括样品台，悬臂支架，悬臂力检测器，悬臂反馈系统和样品台反馈系统。 所述样品台被配置为用于保持样品。 悬臂安装件被构造成用于机械地固定具有扫描尖端的机械悬臂。 悬臂梁力检测器被配置为产生电悬臂梁力误差信号。 悬臂反馈系统被配置为响应于悬臂力误差信号以机电方式驱动机械悬臂。 所述样品台反馈系统被配置为响应于所述悬臂梁力误差信号以机电方式移动所述样品台。 悬臂反馈系统和样品台反馈系统被连接以并行地接收悬臂力误差信号。 |
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