| SWIR超光谱成像显微镜系统 |
| KR1020230013406 2023-2-1 发明授权 |
| 2023-9-1 |
| 本发明涉及一种短波长红外高光谱成像显微系统，由基座； 从所述基部立起的支撑件； 用于将对象放置在所述基座上的载物台； 枪管，其安装在所述支撑件上并面向设置在所述工作台上的对象； 安装在所述桶体内部的分光镜； 光源，其安装在所述镜筒的外部并与所述分光镜相对，通过所述分光镜向被检体照射光； 光学模块，所述光学模块安装在所述桶的内部，并且从所述光源的从所述被摄体反射的光获取0.9 μ m至2.5 μ m的短波长红外线； 以及检测器，用于将所述光学模块获得的短波长红外线转换为数字图像信号并输出。 根据本发明，能够从被检体获得具有材料的透过性的短波长红外线，从而获得以往的光学显微镜无法看到的硅内部的接合部的图像。 |
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