| 电子显微镜 |
| JP2004260376 2004-9-8 发明申请 |
| 2006-3-23 |
| 要解决的问题 : 以实现一个电子显微镜具有一个简单的结构和被成本低，其中所述的电子显微镜可以提供一种三-维图像的所述的耐受性的观察样品表面上。溶液 : 当所述样品的整个表面6是与电子束照射8从注入电子喷淋枪7在一种形式的，二次发射的电子15被从所述样品的整个表面6。所述二次电子，15，从所述的小区域6a发出的所述样品的表面6，被检测通过一个二次电子发射检测器用于左眼13和一个次级电子发射检测器用于右眼14，左和右之间具有一固定的视差。当用于左眼显示面板和一用于所述右眼显示面板被观察到，通过一个用于左眼观察窗口22和一个用于观察左右眼23的观察窗口眼镜4，在所述相同的时间; 该显示面板所述观察窗被设置在所述的背面，分别，所述凹坑的三-维图像和所述小区域中的突起6a的所述样品的表面6被捕获的。如果操作者操纵该操作杆11的一操纵杆3，同时观看所述三个三维图像，然后一二次电子探测器9被简单地在所希望的方向偏移，和所述操作者可以观察该三-维图像的所述原料中所述小区域的凹坑和突起在所希望的方向，从所述一个小区域6a所述样品的表面6上。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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