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产业专利数据

扫描电子显微镜

US11155014 2005-6-16 发明申请

2006-3-23

在扫描电子显微镜中，发射的初级电子束在与样品入射之前被偏转至少约45度的角度。所述梁可以通过磁选机弯曲。分离器还可用于偏转二次电子和背散射电子。因为来自样品的发射和反射的角度接近入射角，所以在入射角之前弯曲初级电子束，使得电子源能够被定位，从而不会阻碍发射和反射到合适的检测器的行进。