使用两个Nipkow盘的共焦扫描显微镜
 
US11106569  2005-4-15  发明申请

2006-3-23
 
  一种使用Nipkow盘的共焦扫描显微镜,在保持高测量速度的同时防止光轴方向上的性能劣化。 所述共焦扫描显微镜包括光源,使来自光源的光朝向特定方向通过的照明装置,以及两个Nipkow盘,每个Nipkow盘上形成有狭缝形孔,使得从照明装置入射的光以通过单个孔的光的形式传播。 另外,共焦扫描显微镜包括 : 第一光学系统,用于通过穿过Nipkow盘的光在样品上形成图像;以及第二光学系统,用于通过从样品反射并穿过Nipkow盘的光形成第二图像。
 
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