| 图案特性使用扫描探针显微镜测量方法及其系统 |
| JP2004251647 2004-8-31 发明申请 |
| 2006-3-16 |
| 要解决的问题 : 以提供一个图形特性的测量方法使用一种扫描探针显微镜能够容易地掌握在样品的形状或多个间的特性变化，其中所述相同的图案被形成并提供其系统。溶液 : 一图形指示一个参考位置被模制一种用于测量所述相同的主图形之间的区域中的一种多个样本的，和所述的基础上测量所述区域内被执行的所述参考图案。所述每个样品的测量结果的基础上，一单元区域形成该图案被检测到，和形状每个检测单元区域内的特性等被计算。由显示所述样本之间变化，例如在每种类型的变化所测量的区域内的特性，精度在两维对准(节距每个检测区域中的变化)，等被显示，它是可能的，以容易地掌握改变在所述图案的特性。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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